申请/专利权人：西安超码科技有限公司

申请日：2023-11-22

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117660918A

主分类号：C23C16/26

分类号：C23C16/26;C23C16/04;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种沉积炉。一种具有旋流气场的沉积炉，包括：旋转动力机构、支撑承重机构、隔热保温机构以及进气机构；旋转动力机构安装在沉积炉的炉底，用于带动支撑承重机构旋转；支撑承重机构位于沉积炉内，底部安装有进气机构，上部承载有待沉积产品；隔热保温机构设置在支撑承重机构与沉积炉内壁之间；碳源气体通过进气机构传输到炉内，在被均匀分散的同时在沉积区形成旋流气场。本发明利用支承转盘轴承带动炉内整体机构旋转，从而以旋转的方式带动炉内气场以及热场的均匀性，提高大尺寸CC复合材料致密均匀性，进而满足单晶炉用工业需求。

主权项：1.一种具有旋流气场的沉积炉，包括：旋转动力机构、支撑承重机构、隔热保温机构以及进气机构，其特征在于：所述旋转动力机构包括：伺服电机1、传动齿轮2和支承转盘轴承3；所述伺服电机1安装于沉积炉的炉底，伺服电机1的主轴末端安装所述传动齿轮2，所述支承转盘轴承3通过外齿与传动齿轮2啮合传动；所述支撑承重机构包括：位于沉积炉内的下承重板4、上承重板5以及支撑柱6；所述下承重板4固定在支承转盘轴承3的上端面，所述上承重板5与下承重板4之间通过支撑柱6支撑连接；沉积炉内上承重板5上方的区域为沉积区；待沉积产品放置于上承重板5上；所述隔热保温机构包括：设置在沉积炉内壁的外保温棉8、设置在下承重板4与上承重板5之间的内保温棉7；所述进气机构安装在所述下承重板4下，随所述下承重板4转动的同时向所述沉积区通入碳源气体，从而在沉积区形成旋流气场。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安超码科技有限公司 一种具有旋流气场的沉积炉

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD