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申请/专利权人：内蒙古上航新能源有限公司

摘要：本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及一种降低多晶铸锭硅锭粘埚率的喷涂方法；其将重量为800～1000g的氮化硅粉、体积为2000～3000ml的去离子纯水、重量为300～400g的硅溶胶以及5～10g的聚乙烯醇粘结剂倒入量桶中混合，配置成氮化硅喷涂溶液；将配置好溶液的量桶放在搅拌台支架上，插入搅拌器并打开气动阀开始搅拌，搅拌时间不少于20分钟，配置好的氮化硅溶液需一直处于搅拌状态；将检验合格的石英坩埚抬放在坩埚加热台上进行加热，当石英坩埚内壁的温度达到50℃～70℃时，开始喷涂作业，喷涂工艺包括从横向路径喷涂和纵向路径喷涂。本发明其采用喷涂工艺路径进行单独加喷，增加该区域氮化硅涂层的厚度抵抗硅液冲刷、降低硅锭粘埚率。

主权项：1.一种降低多晶铸锭硅锭粘埚率的喷涂方法，其特征在于，包括以下步骤：1将重量为800～1000g的氮化硅粉、体积为2000～3000ml的去离子纯水、重量为300～400g的硅溶胶以及5～10g的聚乙烯醇粘结剂倒入量桶中混合，配置成氮化硅喷涂溶液；2将配置好溶液的量桶放在搅拌台支架上，插入搅拌器并打开气动阀开始搅拌，搅拌时间不少于20分钟，配置好的氮化硅溶液需一直处于搅拌状态；3将检验合格的石英坩埚抬放在坩埚加热台上进行加热，当石英坩埚内壁的温度达到50℃～70℃时，方可开始喷涂作业；4喷涂前用压缩空气吹扫坩埚内表面，清除表面灰尘及杂物；5自动喷涂机械手的喷枪与石英坩埚内壁的距离控制在15cm～25cm,喷枪压力设定为20～40par，调节压力使喷枪喷出的氮化硅溶液雾化扇面宽幅达到20～30cm；6选定喷涂工艺，启动程序后喷涂机械手按照设定好的喷涂工艺路径完成自动喷涂，一个喷涂周期结束后机械手自动返回原点，等待指令；7在喷涂过程中，用红外测温枪进行测量，保证坩埚内壁的温度维持在50℃～70℃范围内，此温度喷出的溶液雾化效果最好，得到的氮化硅涂层更均匀；8一个喷涂周期结束后，等待1分钟，测量石英坩埚内壁的温度达到了50℃～70℃后，再次启动程序进行下一个周期的喷涂；9重复以上步骤1至8，直至将量杯内的氮化硅溶液全部喷涂在石英坩埚内壁上，每只坩埚需要喷涂5～7个周期；10喷涂结束后，石英坩埚的氮化硅涂层即制作完成，将石英坩埚从加热台上取下放置在石墨底板上等待铸锭装料使用。

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