申请/专利权人：中建材玻璃新材料研究院集团有限公司

申请日：2023-11-13

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN117684172A

主分类号：C23C28/04

分类号：C23C28/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明涉及一种以不同硬度DLC膜为缓冲层的CN复合薄膜的制备方法，包括衬底的选择、CN薄膜的制备，其特征在于：在衬底和CN薄膜之间采用磁控溅射法依次制备出第一低硬度DLC膜、高硬度DLC膜、第二低硬度DLC膜；第一低硬度DLC膜的制备参数为：功率：200‑400w，Ar：30‑50sccm，气压：0.5‑2.0Pa，时间5min‑15min；高硬度DLC膜的制备参数为：功率：400‑800w，Ar：40‑80sccm，气压：1.0‑2.5Pa，时间15min‑20min；第二低硬度DLC膜的制备参数为：功率：250‑500w，Ar：25‑50sccm，气压：0.5‑1.5Pa，时间5min‑15min。本发明的优点：不同硬度DLC膜的引入，可以很好地适应不同衬底材料及最上层CN薄膜的需要，使得膜层与衬底的结合力较强，不易出现由于内应力等原因造成的裂纹等情况。

主权项：1.一种以不同硬度DLC膜为缓冲层的CN复合薄膜，包括衬底、CN薄膜，其特征在于：在衬底和CN薄膜之间设有第一低硬度DLC膜、高硬度DLC膜、第二低硬度DLC膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 一种以不同硬度DLC膜为缓冲层的CN复合薄膜及其制备方法

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