申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117723790A

主分类号：G01R1/04

分类号：G01R1/04;G01R1/073

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明提供了一种用于Bar条老化测试的夹具，涉及晶圆测试技术领域。夹具包括热沉、至少一个支撑部件、垂直探针卡及至少一个调节机构，热沉的顶部具有用于安装Bar条的安装位，支撑部件设置在热沉的上方，垂直探针卡位于支撑部件上，垂直探针卡具有多个探针，垂直探针卡具有探针与Bar条间隔预设距离的第一位置以及与Bar条接触的第二位置，调节机构与支撑部件和热沉连接，用于调节支撑部件与热沉沿竖直方向的间距，以带动垂直探针卡在第一位置和第二位置之间切换，以控制探针与Bar条的缓慢接触，避免探针与Bar条直接接触时刮伤Bar条，从而降低了夹具对Bar条进行测试时损伤Bar条的风险。

主权项：1.一种用于Bar条老化测试的夹具，其特征在于，所述夹具包括：热沉，所述热沉的顶部具有用于安装Bar条的安装位；至少一个支撑部件，设置在所述热沉的上方；垂直探针卡，位于所述支撑部件上，所述垂直探针卡具有多个探针，所述垂直探针卡具有所述探针与所述Bar条间隔预设距离的第一位置以及与所述Bar条接触的第二位置；至少一个调节机构，与所述支撑部件和所述热沉连接，用于调节所述支撑部件与所述热沉沿竖直方向的间距，以带动所述垂直探针卡在所述第一位置和所述第二位置之间切换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种用于Bar条老化测试的夹具

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