申请/专利权人:安徽大学
申请日:2023-08-29
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN117723615A
主分类号:G01N27/407
分类号:G01N27/407;G01N27/409;C23C14/35;C23C14/08
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开
摘要:本发明公开了一种基于氧化锆的全固态气体传感器基片及其制备方法,包括加热层、绝缘层、致密扩散层、电解质层、电极层,所述电解质层作为基板,所述电解质层的上表面附着有绝缘层二和电极层二,所述绝缘层二上表面附着有电极层三,所述电极层二为参比电极,所述电极层三为工作电极,所述电解质层下表面附着有致密扩散层,所述致密扩散层下表面附着有绝缘层一和电极层一,所述电极层一为对电极,所述绝缘层一的下表面附着加热层。本发明的基片尺寸小,热量集中,易于实现在功耗较低的情况下电极片的高离子电导,实现传感器的高灵敏度。
主权项:1.一种基于氧化锆的全固态气体传感器基片,其特征在于:包括加热层、绝缘层、致密扩散层、电解质层、电极层,所述电解质层作为基板,所述电解质层的上表面附着有绝缘层二和电极层二,所述绝缘层二上表面附着有电极层三,所述电极层二为参比电极,所述电极层三为工作电极,所述电解质层下表面附着有致密扩散层,所述致密扩散层下表面附着有绝缘层一和电极层一,所述电极层一为对电极,所述绝缘层一的下表面附着加热层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 安徽大学 一种基于氧化锆的全固态气体传感器基片及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。