申请/专利权人：格芯(美国)集成电路科技有限公司

申请日：2021-08-24

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114252956B

主分类号：G02B6/122

分类号：G02B6/122;G02B6/124;G02B5/00

优先权：["20200924 US 17/031032"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.04.15#实质审查的生效;2022.03.29#公开

摘要：本公开涉及半导体结构，更具体地，涉及螺旋波导吸收体及其制造方法。该结构包括：光子部件；以及波导吸收体，其具有与光子部件的节点耦合的光栅图案。

主权项：1.一种半导体结构，包括：光子部件；以及波导吸收体，其具有与所述光子部件的节点耦合的光栅图案，其中所述波导吸收体包括交替的宽区域和窄区域，并且所述光栅图案是位于所述宽区域的对之间并与所述宽区域的对之间的所述窄区域邻近的间隙。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 格芯(美国)集成电路科技有限公司 波导吸收体

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