申请/专利权人：济南兰星电子有限公司

申请日：2023-10-16

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117393480B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/02;B08B1/36;B08B1/14;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.01.30#实质审查的生效;2024.01.12#公开

摘要：本发明属于二极管芯片加工应用技术领域，尤其涉及一种二极管芯片生产用玻璃浆自动擦拭装置。包括工作台以及设置在工作台上的转盘，所述转盘转动设置在工作台上，所述转盘上设置有工位柱，所述工位柱呈环形分布在转盘上，所述工位柱转动设置在转盘上，所述工位柱在转盘上实现放置工位、擦拭工位以及收料工位，所述工位柱上设置有放置槽，所述放置槽自工位柱的中心向外贯穿工位柱的侧壁和顶部，所述工作台上设置有用于在放置工位将硅片放置在工位柱上的放置机构、用于在擦拭工位将硅片擦拭的擦拭机构以及用于在收料工位将硅片放置在乘片篮内的收料机构，本发明实现自动化对硅片的擦拭，从而提高工作效率、降低工作强度。

主权项：1.一种二极管芯片生产用玻璃浆自动擦拭装置，用于放置待处理硅片的乘片篮，其特征在于，还包括工作台以及设置在工作台上的转盘，所述转盘转动设置在工作台上，所述转盘上设置有工位柱，所述工位柱呈环形分布在转盘上，所述工位柱转动设置在转盘上，所述工位柱在转盘上实现放置工位、擦拭工位以及收料工位，所述工位柱上设置有放置槽，所述放置槽自工位柱的中心向外贯穿工位柱的侧壁和顶部，所述工作台上设置有用于在放置工位将硅片放置在工位柱上的放置机构、用于在擦拭工位将硅片擦拭的擦拭机构以及用于在收料工位将硅片放置在乘片篮内的收料机构；其中，所述放置机构和收料机构均包括用于放置乘片篮的输送带以及设置在输送带和转盘之间的十字行走平台，所述十字行走平台的输出端连接有翻转电机，所述翻转电机的输出端连接有电机座，所述电机座上设置有旋转电机，所述旋转电机的输出端连接有吸附杆，所述吸附杆呈L型设置，所述旋转电机的输出端的朝向和翻转电机输出端的朝向呈垂直角度设置，所述工位柱的顶部以及吸附杆远离旋转电机的一端都设置有负压吸盘；所述擦拭机构包括设置在擦拭工位一侧的机架以及设置在机架上放布盘和收布盘，所述放布盘上设置有无纺布卷，所述收布盘上设置有收布卷，所述放布盘和收布盘之间设置有下导向辊和上导向辊，所述下导向辊和上导向辊之间设置有擦拭电动缸，所述擦拭电动缸倾斜向下设置，所述擦拭电动缸的动力端连接有擦拭块，所述擦拭块远离擦拭电动缸的一端设置有硅胶软垫，所述无纺布卷上的无纺布自放布盘经过下导向辊、硅胶软垫、上导向辊后收纳于收布卷上，所述放布盘、下导向辊以及上导向辊无动力转动设置在机架上，所述机架上设置有用于驱动收布盘转动的驱动电机。

全文数据：

权利要求：

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