申请/专利权人：无锡先为科技有限公司

申请日：2023-04-28

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627759U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本申请实施例公开了提供一种片盒及片盒承载装置，所述片盒的盒体包括多个容纳腔，以容纳腔朝向盒体的开口的延伸方向定义收纳方向，盒体的底壁包括面向容纳腔的上表面，通过在盒体的底壁设置支撑部，支撑部的支撑面相对于底壁的上表面倾斜设置，使得片盒在常置状态下，收纳方向相对于水平面向上倾斜，放置于片盒内的晶圆向上倾斜，避免晶圆在片盒内滑动，所述片盒承载装置通过在支座上设置导向件，导向件可在片盒装入过程中形成对片盒的支撑部的导向和支撑，使得片盒的开口所在的一端向下转动，至片盒的片架与水平面平行，从而使得片盒从常置状态平滑地切换到工作状态，避免片盒内的晶圆在片盒内滑动，保证取片的顺利进行。

主权项：1.一种片盒，包括：盒体110，所述盒体110包括多个用以存放晶圆的容纳腔120及与所述容纳腔120连通的开口111，以通过所述开口111将所述晶圆取出或放入所述容纳腔120内，多个所述容纳腔120以堆叠的方式设于所述盒体110内，以所述容纳腔120朝向所述开口111的延伸方向定义收纳方向W，以所述容纳腔120的堆叠方向定义所述盒体110的高度方向H，所述盒体110包括沿所述高度方向H相对设置的底壁101和顶壁102，所述底壁101包括面向所述容纳腔120的上表面，其特征在于，所述片盒至少包括一组支撑部130，所述支撑部130沿所述高度方向H凸出所述底壁101设置，定义所述支撑部130背离所述底壁101的一端的端面为支撑面131，所述支撑面131相对于所述底壁101的上表面倾斜设置，所述支撑面131水平放置时，所述收纳方向W相对于水平面向上倾斜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡先为科技有限公司 片盒及片盒承载装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD