申请/专利权人:芜湖长信科技股份有限公司
申请日:2023-08-10
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN220626853U
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种降低曝光机内部光线衍射的装置,包括安装板和设置于安装板上且用于汇聚光线的球状晶体,球状晶体设置于曝光机的光源和光罩之间。本实用新型的降低曝光机内部光线衍射的装置,设置在曝光机和光罩之间,当曝光机的光源发出光线时,经过此装置后的光线会减少衍射的效果,光线会再次变得竖直,减少了光在图形上衍射的分布,从而提升了曝光的效果。
主权项:1.降低曝光机内部光线衍射的装置,其特征在于:包括安装板和设置于安装板上且用于汇聚光线的球状晶体,球状晶体设置于曝光机的光源和光罩之间;球状晶体在安装板上设置多个,安装板为矩形结构且安装板的颜色为黑色,所有球状晶体为沿安装板的长度方向依次布置。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 芜湖长信科技股份有限公司 降低曝光机内部光线衍射的装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。