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【实用新型】降低曝光机内部光线衍射的装置_芜湖长信科技股份有限公司_202322148760.4 

申请/专利权人:芜湖长信科技股份有限公司

申请日:2023-08-10

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN220626853U

主分类号:G03F7/20

分类号:G03F7/20

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权

摘要:本实用新型公开了一种降低曝光机内部光线衍射的装置,包括安装板和设置于安装板上且用于汇聚光线的球状晶体,球状晶体设置于曝光机的光源和光罩之间。本实用新型的降低曝光机内部光线衍射的装置,设置在曝光机和光罩之间,当曝光机的光源发出光线时,经过此装置后的光线会减少衍射的效果,光线会再次变得竖直,减少了光在图形上衍射的分布,从而提升了曝光的效果。

主权项:1.降低曝光机内部光线衍射的装置,其特征在于:包括安装板和设置于安装板上且用于汇聚光线的球状晶体,球状晶体设置于曝光机的光源和光罩之间;球状晶体在安装板上设置多个,安装板为矩形结构且安装板的颜色为黑色,所有球状晶体为沿安装板的长度方向依次布置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 芜湖长信科技股份有限公司 降低曝光机内部光线衍射的装置

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