申请/专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司

申请日：2023-12-12

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117732922A

主分类号：B21D3/10

分类号：B21D3/10;B21C51/00;B21D43/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种旋转靶材的内径校直方法，具体是用于加工长度大于3米，纯度大于99.99％的高纯度旋转靶材的加工方法，以内径为基准先通过车床车削出两个基准部，再以基准部为旋转轴安装在校直装置上，通过测量待校部和基准部的内径之间的差值，获得管靶的弯曲数据，再通过推压机构进行校直，全程以内径为基准进行校直，无需再对内径进行镗孔，降低废料产生，降低成本，简化校直工序，缩短校直时间，提高校直效率。

主权项：1.一种旋转靶材的内径校直方法，其特征在于：用于加工长度大于3米的旋转靶材，包括以下步骤，S1，确定基准步骤，将待校直的管靶1吊移至车床，以管靶1的内径为旋转轴装夹在车床上，通过车床分别车削管靶1的左右两个端部的外圆周面，得到左右两个基准部11，每一个基准部11的圆跳度控制在0.01～0.05毫米，两个基准部11之间的相对同轴度误差控制在0.01～0.05毫米，两个基准部11之间为待校部12；S2，固定步骤，将车削完成的管靶1吊移至校直装置上，校直装置包括机座2、内径测量机构3、外径测量机构4、推压机构5和两个旋转承托机构6，两个旋转承托机构6分别滑动安装于机座2，推压机构5固定安装于机座2的中部，内径测量机构3活动安装于机座2，外径测量机构4活动安装于推压机构5，将管靶1的两个基准部11分别滚动安装在两个旋转承托机构6上，以固定管靶1并使管靶1以内径为旋转轴旋转安装在校直装置上；S3，校直点确定步骤，包括以下子步骤，S3.1，标记校直点子步骤，沿管靶1的长度方向，在待校部12上分别标记至少三个校直点，各个校直点均匀间隔排布在管靶1上；S3.2，基准测量子步骤，内径测量机构3包括滑轨31、测量仪和拉绳33，测量仪滑动安装于滑轨31，拉绳33的一端与测量仪固定连接，测量仪设置有测量杆34和测量表35，测量杆34与测量表35连接，测量杆34的位移变化反应于测量表35的数值变化，将内径测量机构3插入管靶1的内孔中，使测量仪的测量杆34的外端部抵顶管靶1的内壁，通过将测量杆34向下压一定的距离从而在测量表35上形成一对应的初始数值，同时测量杆34也形成有一定的向下的测量行程；S3.3，内径测量子步骤，抽动拉绳33将测量仪移动至各个校直点，测量杆34的外端部抵顶校直点的内壁，以基准部11的内径为转轴旋转管靶1，如基准部11与待校部12不同轴，管靶1在旋转的过程中发生偏转，使抵顶于管靶1内壁的测量杆34发生移动，从而使测量表35上的数值发生对应的变化，记录测量表35内的相对初始数值的变化幅度的差值，分别在各个校直点上获得对应的跳动值；S4，校直点和校直值确定步骤，对比各个跳动值，通过两个旋转承托机构6将跳动值最大的校直点移动至推压机构5的下方，校直值设置为最大跳动值的50±1％；S5，校直步骤，包括以下子步骤，S5.1，下压校直子步骤，旋转管靶1使校直点的最高点朝上，启动推压机构5由上至下对管靶1下压，当外径测量机构4检测到推压机构5下压一个校直值后停止下压；S5.2，校准持续校直子步骤，重复S3.3子步骤分别对各个校直点重新测量，当校直后的任意一个跳动值仍然大于精度要求范围时，重复S4步骤和S5.1子步骤，直至校直后的各个跳动值均在精度要求范围内；S6，偏心矫正步骤，将校直完成的所述管靶1吊移至车床，以基准部11的外径为基准将待校部12的偏心的一部分车削掉。

全文数据：

权利要求：

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