申请/专利权人:山东省科学院激光研究所
申请日:2023-11-07
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117747684A
主分类号:H01L31/0236
分类号:H01L31/0236;H01L31/18
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本申请提供一种太阳能电池制备方法及太阳能电池,该方法包括:提供一层吸收结构层,其中,吸收结构层包括第一表面;在第一表面沉积氧化硅,形成第一氧化硅层;由第一氧化硅层的表面刻蚀第一深度,形成第一光子晶体,第一深度小于或者等于第一氧化硅层的厚度;或者,刻蚀第一氧化硅层至第一表面,并由第一表面向吸收结构层内部刻蚀第二深度,形成第二光子晶体,第二深度小于吸收结构层的厚度;第一光子晶体及第二光子晶体由周期性分布的最小单元构成,最小单元的直径大于或者等于1微米。可见,该方法可以在太阳能电池的表面及内部制备光子晶体,使射向太阳能电池的光尽可能进入太阳能电池,提升太阳能电池内部对光子的吸收能力。
主权项:1.一种太阳能电池制备方法,其特征在于,包括:提供一层吸收结构层,其中,所述吸收结构层包括第一表面,所述吸收结构层用于吸收光并进行光电转换;在所述第一表面沉积氧化硅,形成第一氧化硅层;由所述第一氧化硅层的表面刻蚀第一深度,形成第一光子晶体,所述第一深度小于或者等于所述第一氧化硅层的厚度;或者,刻蚀所述第一氧化硅层至所述第一表面,并由所述第一表面向所述吸收结构层内部刻蚀第二深度,形成第二光子晶体,所述第二深度小于所述吸收结构层的厚度;所述第一光子晶体及所述第二光子晶体由周期性分布的最小单元构成,所述最小单元的直径大于或者等于1微米。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 山东省科学院激光研究所 一种太阳能电池制备方法及太阳能电池
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