申请/专利权人：赛奥仪器(承德)有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117732804A

主分类号：B08B7/00

分类号：B08B7/00;B08B13/00;B08B1/12;B08B1/34;B08B15/04;F26B23/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及等离子去胶设备技术领域，提出了等离子去胶机，包括真空箱体，还包括电离组件、集束组件、除胶机构、毛刷、夹持机构、残胶收集机构、吸盘和过滤机构，供气管设置在真空箱体的顶端外壁上，用于在真空箱体内形成向下的气流，电离机构设置在真空箱体的上层，除胶机构设置在真空箱体的下层，夹持机构位于除胶机构下方，残胶收集机构设置在真空箱体的底部，过滤机构设置在底部，通过上述技术方案，解决了现有技术中的等离子去胶机通过高能粒子去除圆片表面的胶后，形成的残胶胶屑落到去胶机内，给清理去胶机的过程增加困难，并且高能粒子电离过程中产生的有害气体也没有有效的去除办法，可能会对人体造成一定的危害的问题。

主权项：1.等离子去胶机，包括真空箱体（1），其特征在于，还包括：电离组件（2），所述电离组件（2）设置在所述真空箱体（1）的上层，用于电离氧等离子；集束组件（3），所述集束组件（3）位于所述电离组件（2）下侧，用于助力高能粒子运动；除胶机构（4），所述除胶机构（4）设置在所述真空箱体（1）的下层，用于去除样品表面的残胶，所述除胶机构（4）包括毛刷（5）；夹持机构（6），所述夹持机构（6）位于所述除胶机构（4）下方；残胶收集机构（7），所述残胶收集机构（7）设置在所述真空箱体（1）的底部，用于排气和收集从样品去除的残胶，所述残胶收集机构（7）包括吸盘（8）；过滤机构（9），所述过滤机构（9）设置在所述底部，用于过滤真空箱体（1）内产生的有害气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赛奥仪器(承德)有限公司 等离子去胶机

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