申请/专利权人：南京信息工程大学

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117741185A

主分类号：G01Q60/02

分类号：G01Q60/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种集成式多头快速切换型扫描探针显微镜及扫描方法，所述扫描探针显微镜包括共用惯性马达、多根压电扫描管、方形重物块、弹簧片、样品台、金属外壳、滑杆、限位环、绝缘环、固定绝缘环以及绝缘顶盖，所述共用惯性马达上边设置有绝缘顶盖，绝缘顶盖上固定方形重物块，所述共用惯性马达在横向14处分割为两部分，分别为横向惯性马达和纵向惯性马达，电极分割处粘接固定绝缘环，且绝缘环外有两处和金属外壳固定的凸起，金属外壳包裹整个共用惯性马达以及方形重物块之上的探针扪描头，金属外壳侧边为滑杆，滑杆顶端由连接杆连接，连接杆上粘接有样品台。本发明具备快速切换不同扫描头的能力，从而显著提高了显微镜的使用效率和便捷性。

主权项：1.一种集成式多头快速切换型扫描探针显微镜，其特征在于：包括共用惯性马达1、多根压电扫描管、方形重物块3、弹簧片4、样品台5、金属外壳2、滑杆6、限位环7、绝缘环8、固定绝缘环9以及绝缘顶盖10，所述共用惯性马达1顶部设置有绝缘顶盖10，底部设置有绝缘环8，绝缘顶盖10上固定方形重物块3，所述共用惯性马达1在横向14处分割为两部分，分别为横向惯性马达11和纵向惯性马达12，电极分割处粘接固定绝缘环9，且绝缘环9外有两处和金属外壳2固定的凸起，金属外壳2包裹整个共用惯性马达1以及方形重物块3之上的探针扫描头，金属外壳2侧边为滑杆6，滑杆6顶端由连接杆连接，连接杆上粘接有样品台5。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京信息工程大学 一种集成式多头快速切换型扫描探针显微镜及扫描方法

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