申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-09-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737709A

主分类号：C23C16/52

分类号：C23C16/52;C23C16/455;C23C16/509;C23C16/458;C23C16/46

优先权：["20220921 KR 10-2022-0119613"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及的沉积装置可包括：腔体，提供内部空间；闸门，位于腔体的一侧面，能够开闭腔体且使基板出入；以及基座，在一面安置基板，基座包括：基座主体，包括第一区域以及被配置成在第一方向上比第一区域更远离闸门的第二区域；第一热线，在第一区域内被配置成第一图案；以及第二热线，在第一区域和第二区域中被配置成第二图案，第一热线和第二热线在平面上以横穿基座主体的中心且与第一方向正交的第二方向为基准不对称，独立地控制第一热线和第二热线。

主权项：1.一种沉积装置，包括：腔体，提供内部空间；闸门，位于所述腔体的一侧面，能够开闭所述腔体且使基板出入；以及基座，在一面安置所述基板，所述基座包括：基座主体，包括第一区域以及被配置成在第一方向上比所述第一区域更远离所述闸门的第二区域；第一热线，在所述第一区域内被配置成第一图案；以及第二热线，在所述第一区域和所述第二区域中被配置成第二图案，所述第一热线和所述第二热线在平面上以横穿所述基座主体的中心且与所述第一方向正交的第二方向为基准不对称，独立地控制所述第一热线和所述第二热线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积装置

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