申请/专利权人：长沙麓邦光电科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742077A

主分类号：G03F7/16

分类号：G03F7/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种光刻胶旋涂仪，涉及光刻胶涂覆技术领域，包括支撑架、上罩、电主轴、旋转盘、贴合载具、风机和抽气装置，上罩固定于支撑架上端，电主轴通过安装座固定安装在支撑架内，旋转盘固定于电主轴的输出端并设置于上罩内底部，贴合载具能够拆卸连接在旋转盘上，贴合载具上端设有用于放置玻璃基板的安装槽，贴合载具上设有用于将玻璃基板压装于安装槽内的压装夹具，风机设置于上罩顶部，用于向安装槽内的玻璃基板吹风，贴合载具外侧的上罩内设有围绕贴合载具的一圈通气孔，各通气孔连通上罩内的排气腔，排气腔通过排气管路与抽气装置连接。本发明提供的光刻胶旋涂仪，能够以较高转速进行光刻胶的涂覆，并且能够提高涂覆质量。

主权项：1.一种光刻胶旋涂仪，其特征在于：包括支撑架、上罩、电主轴、旋转盘、贴合载具、风机和抽气装置，所述上罩固定于所述支撑架上端，所述电主轴通过安装座固定安装在所述支撑架内，所述旋转盘固定于所述电主轴的输出端并设置于所述上罩内底部，所述贴合载具能够拆卸连接在所述旋转盘上，所述贴合载具上端设有用于放置玻璃基板的安装槽，所述贴合载具上设有用于将玻璃基板压装于所述安装槽内的压装夹具，所述风机设置于所述上罩顶部，用于向所述安装槽内的玻璃基板吹风，所述贴合载具外侧的所述上罩内设有围绕所述贴合载具的一圈通气孔，各所述通气孔连通所述上罩内的排气腔，所述排气腔通过排气管路与所述抽气装置连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长沙麓邦光电科技有限公司 一种光刻胶旋涂仪

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