申请/专利权人：高景太阳能股份有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司

申请日：2022-08-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115440636B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.04.11#著录事项变更;2022.12.23#实质审查的生效;2022.12.06#公开

摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种硅片承载料托及具有其的运载水箱，本发明的硅片承载料托可以将若干个硅片倾斜堆叠放置在槽位中，硅片依靠自身重力作用紧靠在挡部，并通过两个挡部夹紧固定，有效避免在运输过程中硅片相对料托左右晃动，硅片磕碰到侧部的内壁导致硅片崩边的问题；在需要将硅片从料托中逐片取出时，可将侧部拆下或打开，消除侧部对硅片的限制，可以避免插片机驱使硅片逐片地从槽位中移送时硅片磕碰到侧壁的内壁的问题。

主权项：1.一种硅片承载料托，其特征在于，包括：基座100；挡部101，固定安装于所述基座100上；两个侧部102，分设于所述基座100上相对的两侧，并且与所述挡部101在所述基座100上围合形成用于放置硅片的槽位；其中，所述基座100的上端面倾斜设置，并且所述基座100的上端面远离所述挡部101的一侧高于靠近所述挡部101的一侧；至少一个所述侧部102与所述基座100活动连接，所述侧部102与所述基座100之间还设置有锁紧固定机构103；两个所述侧部102夹紧固定堆叠于所述槽位内的硅片；所述侧部102铰接于所述基座100上；所述挡部101的上端设置有连接部104，所述连接部104的两端水平折弯并延伸至靠近所述侧部102；所述连接部104延伸至所述侧部102的上方，所述锁紧固定机构103包括弹性锁销1031以及锁孔1032；所述弹性锁销1031沿竖向朝上设置于所述侧部102，所述锁孔1032对应安装于所述连接部104的侧面；所述连接部104的内侧面还向下延伸有限位部105，所述侧部102锁紧固定于所述限位部105与所述锁孔1032之间；所述侧部102的内壁还设置有弹性防刮层。

全文数据：

权利要求：

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