申请/专利权人：武汉颐光科技有限公司

申请日：2020-10-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112345460B

主分类号：G01N21/21

分类号：G01N21/21;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明提供一种穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统，首先使双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪工作在双旋转模式下，计算获得系统参数；然后关停起偏臂或检偏臂端电机，重新校准部分系统参数；最后更新系统参数，双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪成功从双旋转模式切换为高产率模式。本发明通过将双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪设定为双旋转模式获得大部分系统参数后，在不对仪器本身系统结构做任何改变的情况下，停掉起偏臂或检偏臂端低速电机，更新部分系统参数即可成功切换为高产率模式，通过让穆勒矩阵椭偏仪灵活切换为双旋转模式或高产率模式，使其根据实际工业需求满足高精度或高产率的测量要求。

主权项：1.一种穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法，其特征在于，包括：步骤1，使双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪工作在双旋转模式下，计算获得系统参数；步骤2，关停起偏臂或检偏臂端电机，重新校准部分系统参数；步骤3，更新系统参数，双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪成功从双旋转模式切换为高产率模式；步骤2具体包括：在双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪工作在双旋转模式时，关停起偏臂端电机或检偏臂端电机，并重新校准两个补偿器系统参数；所述重新校准两个补偿器系统参数，具体包括：201，在关停起偏臂端电机或检偏臂端电机后，重新测量标准样件获得第二光强谐波信号；202，对所述第二光强谐波信号进行傅里叶分析，计算获得第二傅里叶系数；203，基于所述第二傅里叶系数，计算起偏臂端补偿器方位角参数校准值和检偏臂端补偿器方位角参数校准值；步骤203具体包括：1以步骤1计算获得的补偿器在双旋转模式下的参数为初值，建立理论模型，计算理论傅里叶系数；2计算理论傅里叶系数与通过第二光强谐波信号进行傅里叶分析获得的实际第二傅里叶系数之差，若小于设定阈值，则输出两个补偿器系统参数校准值，进入步骤4；若大于设定阈值，则进入步骤3；3采用非线性回归算法拟合所述理论模型，获得穆勒矩阵椭偏仪第1个波长点的起偏臂端补偿器参数校准值C1'和检偏臂端补偿器参数校准值C2'；基于两个补偿器系统参数校准值获得新的理论傅里叶系数，返回步骤2；4以校准获得的第i个波长点的起偏臂端补偿器参数校准值C1'和检偏臂端补偿器参数校准值C2'为初值，建立理论模型，计算理论傅里叶系数重复步骤2～步骤3，获得穆勒矩阵椭偏仪第i+1个波长点的起偏臂端补偿器参数校准值和检偏臂端补偿器参数校准值；5重复步骤4，对全光谱范围内所有波长点的起偏臂端补偿器参数和检偏臂端补偿器参数进行校准。

全文数据：

权利要求：

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