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铁电记忆体 

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申请/专利权人:财团法人工业技术研究院

摘要:本发明提供一种铁电记忆体,包括:一第一电极层,其主要结晶方向包括110或220;一第二电极层,与该第一电极层对向设置,其中该第二电极层的主要结晶方向包括110或220;以及一铁电层,设置于该第一电极层与该第二电极层之间,其中该铁电层的主要结晶方向包括111。

主权项:1.一种铁电记忆体,其特征在于,包括:一第一电极层,其主要结晶方向包括110或220;一第二电极层,与该第一电极层对向设置,其中该第二电极层的主要结晶方向包括110或220;以及一铁电层,设置于该第一电极层与该第二电极层之间,其中该铁电层的主要结晶方向包括111;其中,该铁电层包括锆于氧化锆铪中的比例介于40-60%的氧化锆铪、氧化铪、硅于氧化硅铪中的比例介于3-6%的氧化硅铪、铝于氧化铝铪中的比例介于2-10%的氧化铝铪、钆于氧化钆铪中的比例介于2-50%的氧化钆铪、钇于氧化钇铪中的比例介于2-20%的氧化钇铪、锶于氧化锶铪中的比例介于2-40%的氧化锶铪、或锆于氧化镧锆铪中的比例介于40-60%且镧于氧化镧锆铪中的比例介于0.1-2%的氧化镧锆铪。

全文数据:

权利要求:

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