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申请/专利权人:住友电气工业株式会社
摘要:本公开内容所涉及的碳化硅衬底具有主面。所述碳化硅衬底的最大直径为150mm以上。在主面中,钠、铝、钾、钙、钛、铁、铜和锌各自的浓度小于5×1010原子cm2的区域的总面积为主面的面积的95%以上。
主权项:1.一种碳化硅衬底,其中,所述碳化硅衬底具有主面,所述碳化硅衬底的最大直径为150mm以上,并且在所述主面中,钠、铝、钾、钙、钛、铁、铜和锌各自的浓度小于5×1010原子cm2的区域的总面积为所述主面的面积的95%以上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 住友电气工业株式会社 碳化硅衬底
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