申请/专利权人：上海晶盟硅材料有限公司

申请日：2023-07-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643340U

主分类号：C30B25/14

分类号：C30B25/14;C30B25/16;C30B23/02;F16J15/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种外延炉气体泄漏防护装置，属于气体泄漏防护技术领域，包括反应腔和连接管，反应腔通过法兰首尾贯通连接，连接管安装在反应腔内，且用于传输有毒气体，连接管的连接处设有螺纹密封胶和防护装置，其中：螺纹密封胶包覆在连接管的连接处外壁上，且用于减缓经连接管溢出的有毒气体的泄漏速度；防护装置安装在连接管上，且设置在螺纹密封胶外部，防护装置用于保护螺纹密封胶和检测经连接管溢出的有毒气体的浓度；当连接管的连接处出现泄漏后，螺纹密封胶可以减缓有毒气体的泄漏速度，有毒气体流经螺纹密封胶后进入防护装置内，防护装置用于保护螺纹密封胶和检测经连接管溢出的有毒气体的浓度。

主权项：1.一种外延炉气体泄漏防护装置，包括反应腔1和连接管2，所述反应腔1通过法兰首尾贯通连接，所述连接管2安装在所述反应腔1内，且用于传输有毒气体，其特征在于：所述连接管2的连接处设有螺纹密封胶3和防护装置4，其中：所述螺纹密封胶3包覆在所述连接管2的连接处外壁上，且用于减缓经所述连接管2溢出的有毒气体的泄漏速度；所述防护装置4安装在所述连接管2上，且设置在所述螺纹密封胶3外部，所述防护装置4用于保护所述螺纹密封胶3和检测经所述连接管2溢出的有毒气体的浓度；当所述连接管2的连接处出现泄漏后，所述螺纹密封胶3可以减缓有毒气体的泄漏速度，有毒气体流经所述螺纹密封胶3后进入所述防护装置4内，所述防护装置4用于保护所述螺纹密封胶3和检测经所述连接管2溢出的有毒气体的浓度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海晶盟硅材料有限公司 一种外延炉气体泄漏防护装置

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