申请/专利权人：明士(北京)新材料开发有限公司

申请日：2023-08-01

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220635487U

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B08B1/12;B08B1/20;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种匀胶硅片清洁装置，包括硅片装载装置、超声清洗装置和冲洗装置，硅片装载装置包括硅片托，硅片托上具有装载位，装载位侧壁具有若干装载槽，硅片托具有滚托，滚托通过转动杆连接于硅片托上，滚托转动至与硅片装载装置上的硅片的上下两端相抵接，超声清洗装置和冲洗装置适于容纳硅片装载装置，超声清洗装置和冲洗装置内分别具有与滚托两端对应设置的第一驱动件和第二驱动件，硅片装载装置置于超声清洗装置或冲洗装置内时，第一驱动件或第二驱动件适于驱动滚托转动。与现有技术相比，本实用新型可实现硅片的半自动清洗，能够有效节约人工成本，同时还可有效控制硅片的清洗洁净程度并减少清洗过程中的硅片损坏数量。

主权项：1.一种匀胶硅片清洁装置，其特征在于，包括：硅片装载装置，所述硅片装载装置包括硅片托11，所述硅片托11上具有装载位12，所述装载位12侧壁具有若干装载槽13，所述硅片托11顶端和底端分别具有滚托14，所述滚托14通过转动杆15连接于所述硅片托11上，所述滚托14可转动至与所述硅片装载装置上的硅片的上下两端相抵接；超声清洗装置，所述超声清洗装置适于容纳所述硅片装载装置，所述超声清洗装置内具有与所述滚托14两端对应设置的第一驱动件21，所述硅片装载装置置于所述超声清洗装置内时，所述第一驱动件21适于驱动所述滚托14转动；冲洗装置，所述冲洗装置适于容纳所述硅片装载装置，所述冲洗装置内具有与所述滚托14两端对应设置的第二驱动件31，所述硅片装载装置置于所述冲洗装置内时，所述第二驱动件31适于驱动所述滚托14转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 明士(北京)新材料开发有限公司 一种匀胶硅片清洁装置

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