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【发明公布】等离子体发生器的启辉电路及启辉方法_深圳市新凯来工业机器有限公司_202311863272.X 

申请/专利权人:深圳市新凯来工业机器有限公司

申请日:2023-12-29

公开(公告)日:2024-03-26

公开(公告)号:CN117769105A

主分类号:H05H1/46

分类号:H05H1/46;H05H1/24

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要:本公开实施例提供一种等离子体发生器的启辉电路及启辉方法,所述启辉电路包括第一变压器、反应腔室,所述反应腔室包括启辉间隙;所述供电电源向启辉电路提供第一电压信号,向所述维持电路供电第二电压信号;所述第一变压器包括第一磁芯和第一次级绕组;所述第一次级绕组向所述反应腔室提供第三电压信号;在所述第三电压信号的作用下,进入到所述启辉间隙的气体被电离;所述维持电路包括第二变压器,所述第二变压器包括第二磁芯;所述第一磁芯与所述第二磁芯为不同的磁芯。上述启辉电路的电压调节更加灵活。可以降低启辉电路成本和提高启辉电路的寿命。

主权项:1.一种等离子体发生器的启辉电路,等离子体发生器包括真空腔体、供电电源、维持电路和启辉电路,其特征在于,所述启辉电路包括第一变压器、反应腔室,所述反应腔室包括平行放置的正电极板和负电极板以及由所述正电极板和负电极板形成的启辉间隙;所述供电电源向启辉电路提供第一电压信号,向所述维持电路供电第二电压信号;所述第一变压器包括第一磁芯和设置在所述第一磁芯上的第一初级绕组和第一次级绕组;第一初级绕组输入所述第一电压信号,第一磁芯将所述第一电压信号耦合至第一次级绕组;所述第一次级绕组向所述反应腔室的正电极板和负电极板提供第三电压信号;在所述第三电压信号的作用下,进入到所述启辉间隙的气体被电离;所述维持电路包括第二变压器,所述第二变压器包括第二磁芯、设置在所述第二磁芯上的第二初级绕组和第二初级绕组,所述第二初级绕组输入所述第二电压信号,所述第二磁芯将所述第二电压信号耦合至第二次级绕组,所述第二次级绕组用于向所述真空腔体供电;所述第一磁芯与所述第二磁芯为不同的磁芯。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市新凯来工业机器有限公司 等离子体发生器的启辉电路及启辉方法

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