申请/专利权人：浙江安胜科技股份有限公司

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117758270A

主分类号：C23F4/00

分类号：C23F4/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明涉及电解质等离子抛光设备技术领域，尤其涉及一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法，该真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽和设置在电解槽内的多个阴极棒，所述电解槽还设置有加热管，所述电解槽上设置有抛光机构，所述抛光机构包括升降结构、往复结构和夹持结构，所述往复结构安装在升降结构上，所述夹持结构装配在往复结构上，所述往复结构用于带动夹持结构沿往复结构往复移动，所述夹持结构用于自动夹紧以及松开真空器皿的外壳。其目的在于，在抛光过程中，能够连续对真空器皿的内壁进行电解质等离子抛光，方便、快捷，有利于真空器皿的大批量抛光。

主权项：1.一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽1和设置在电解槽1内的多个阴极棒11，所述电解槽1还设置有加热管12，其特征在于，所述电解槽1上设置有抛光机构，所述抛光机构包括升降结构、往复结构3和夹持结构4，所述往复结构3安装在升降结构上，所述夹持结构4装配在往复结构3上，所述往复结构3用于带动夹持结构4沿往复结构3往复移动，所述夹持结构4用于自动夹紧以及松开真空器皿7的外壳。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江安胜科技股份有限公司 一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法

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