申请/专利权人：台玻长江玻璃有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN220665427U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权

摘要：本实用新型涉及一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，涉及抽气管道技术领域，旨在解决管道出现异常时，无法及时处理的问题，其技术要点是：包含主抽气管道、若干腔体单元、若干支抽气管道、进气管道、排气管道、马达轴封和中缝泵。腔体单元和主抽气管道通过支抽气管道连接，支抽气管道上设置有检测组件，检测组件用于控制并检测支抽气管道内的气体流动；本方案通过设置检测组件、第三气体阀门、第四气体阀门、第一气体过滤器以及第二气体过滤器之间相互配合，实现了每个腔体单元和马达轴封的独立控制，从而快速判断哪一部分管道出现的真空度异常，并快速应急处理异常点，进而提高了维修效率。

主权项：1.一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统，其特征在于：包含主抽气管道1、若干腔体单元2、若干支抽气管道3、进气管道4、排气管道5、马达轴封6和中缝泵7；所述腔体单元2和主抽气管道1通过支抽气管道3连接，支抽气管道3上设置有检测组件，所述检测组件用于控制并检测支抽气管道3内的气体流动；所述进气管道4和排气管道5均设置在主抽气管道1上；所述马达轴封6位于进气管道4的进气端，马达轴封6用于密封进气管道4的进气端；所述中缝泵7设置在排气管道5的排气端，中缝泵7用于抽出排气管道5内的气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台玻长江玻璃有限公司 一种磁控溅射玻璃镀膜线中缝抽气管道系统

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