申请/专利权人：成都腾六光电有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN220665448U

主分类号：C23C16/50

分类号：C23C16/50;C23C16/44

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权

摘要：本实用新型涉及一种MPCVD反应腔体用微波通道真空密封结构，包括腔体外壳，基板台，钼台，石英圆环，同轴芯线与同轴外壳，钼台设置在基板台上端，同轴芯线贯穿同轴外壳与基板台下端连接，且同轴芯线与同轴外壳之间存在微波通道，腔体外壳罩设在基板台外侧，其下端与同轴外壳连接，石英圆环垂直安装在基板台与同轴外壳之间，基板台及腔体外壳内壁对应石英圆环的端部均设置有环槽，环槽内嵌合有胶圈，基板台与腔体外壳之间还垂直连接有若干根锁紧柱，锁紧柱一端与基板台下端连接，另一端与腔体外壳连接，若干所述锁紧柱是均匀间隔设置的。利用锁紧柱来实现对胶圈强力挤压效果，使其变形形态大，增强密封性，改善作业腔体真空度。

主权项：1.一种MPCVD反应腔体用微波通道真空密封结构，其特征在于：包括腔体外壳，基板台，钼台，石英圆环，同轴芯线与同轴外壳，所述钼台设置在基板台上端，所述同轴芯线贯穿同轴外壳与基板台下端连接，且所述同轴芯线与同轴外壳之间存在微波通道，所述腔体外壳罩设在基板台外侧，其下端与同轴外壳连接，所述石英圆环垂直安装在基板台与腔体外壳之间，所述基板台及腔体外壳内壁对应所述石英圆环的端部均设置有环槽，所述环槽内嵌合有胶圈，所述基板台与腔体外壳之间还垂直连接有若干根锁紧柱，所述锁紧柱一端与基板台下端连接，另一端与腔体外壳连接，若干所述锁紧柱是均匀间隔设置的。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都腾六光电有限公司 一种MPCVD反应腔体用微波通道真空密封结构

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