申请/专利权人：上海悦匠实业有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117778981A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/34;C23C14/54;H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种wafer定位升降装置，本发明公开了一种wafer定位升降装置，本发明涉及半导体技术领域，通过伺服电机控制丝杆于竖直方向运动的方式达到精准控制晶圆上下运动的目的。该机构由以往设计的控制丝杆旋转的模式改进为控制丝杆在竖直方向运动，有效提高了生产效率；通过各零件旋转和运动的比例精准控制晶圆位置，提高了生产的精确性。

主权项：1.一种wafer定位升降装置，其特征在于：包括：伺服电机100，还包括：升降机构200，通过齿轮组与伺服电机100固定连接，包括波纹管201，所述波纹管201一端与定位机构300固定连接，所述波纹管201另一端固定连接安装架构202，所述安装架构202内部设置有铜制导向套202a，且所述波纹管201内部设置有光杆201a，所述光杆201a与铜制导向套202a嵌合连接，所述光杆201a螺旋连接丝杆203一端，所述丝杆203中部固定连接滚珠螺母安装板204，所述滚珠螺母安装板204外侧固定连接有击打杆204a，且所述丝杆203靠近滚珠螺母安装板204处固定连接空心轴205，所述丝杆203远离滚珠螺母安装板204一端设置有位置标志块206；所述位置标志块206处还设置有光电开关滑槽207，所述光电开关滑槽207上固定连接有光电开关207a。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海悦匠实业有限公司 一种wafer定位升降装置

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