申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-07-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117795307A

主分类号：G01M11/04

分类号：G01M11/04;G01M11/02;G02B27/14;G02B27/28;G02B26/08

优先权：["20210813 US 63/233,126"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本文所述的实施方式提供了获得光学器件的全场域光场以确定光学器件的多个计量度量的计量工具和方法。计量工具用于将光束分成第一光路和第二光路。第一光路和第二光路被组合成组合光束并被递送至检测器。该检测器测量组合光束的强度。将第一等式和第二等式与强度测量值结合利用，以确定与至少一个光学器件的第二表面直接相邻的参考点处的振幅和相位ψ。

主权项：1.一种计量工具，包括：光引擎，所述光引擎可操作以投射光束；第一分束器，所述第一分束器设置在所述光束的路径中，所述第一分束器可操作以将所述光束分成第一光路和第二光路，所述第一光路可操作以入射到光学器件上；相位调制器，所述相位调制器设置在所述第二光路中；第二分束器，所述第二分束器设置在所述第一光路和所述第二光路中，所述第二分束器可操作以组合所述第一光路和所述第二光路以形成组合光路；和检测器，所述检测器设置在所述组合光路中，所述检测器可操作以记录所述组合光路的强度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于波导组合器与超表面的全场域计量工具

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