申请/专利权人：吉林大学

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117782978A

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01;G01N21/3504;G01N21/359;G01N21/39

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种片上集成微腔克尔频率梳气体检测装置及其应用，属于近红外分析物检测领域，气体检测装置包括泵浦激光产生模块、片上微腔频率梳传感器和控制系统，泵浦激光产生模块的输出端与上微腔频率梳传感器的输入端耦合，片上微腔频率梳传感器的输出端与控制系统耦合，控制系统用于控制泵浦激光产生模块和片上微腔频率梳传感器的工作状态，完成对多组分待测气体的种类与浓度的反演和检测；本装置利用微腔中形成的高转换效率宽带相干克尔频率梳作为光源，集成在空气中具有高限制因子的传感波导，通过后端的光谱分析与处理，可以实时对多组分气体的种类与浓度进行反演，具有检测气体种类多样、系统体积小、集成度高的特点。

主权项：1.一种片上集成微腔克尔频率梳传感器，包括硅衬底，其特征在于：还包括集成在硅衬底上的光纤耦合输入倒锥形模斑转换器21、微腔耦合输入直波导22、水平狭缝波导微环谐振腔23、背向耦合干涉臂波导24、干涉臂波导加热器25、微腔波导加热器26、微腔耦合输入直波导27、传感波导28和光纤耦合输出倒锥形模斑转换器29；所述光纤耦合输入倒锥形模斑转换器21设置在微腔耦合输入直波导22的输入端，水平狭缝波导微环谐振腔23与微腔耦合输入直波导22和微腔耦合输出直波导27均通过间隙进行耦合，背向耦合干涉臂波导24设置在微腔耦合输入直波导22的输出端，微腔耦合输出直波导27设置在背向耦合干涉臂波导24的输出端，传感波导28设置在微腔耦合输出直波导27的输出端，光纤耦合输出倒锥形模斑转换器29设置在微腔耦合输出直波导27的输出端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种片上集成微腔克尔频率梳气体检测装置及其应用

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