申请/专利权人：浙江亚笙半导体设备有限公司

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117781291A

主分类号：F23G7/06

分类号：F23G7/06;F23G5/44;F25D17/02;F23J1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种燃烧水洗式单腔废气处理设备，包括：废气燃烧系统，所述废气燃烧系统用于燃烧废气；内部冷却吸附系统，所述内部冷却吸附系统与废气燃烧系统连接，直接冷却废气燃烧系统；工艺冷却水系统，所述工艺冷却水系统通过热量交换实现对废气燃烧系统的冷却。本发明提供了废气处理设备，所需能源少，成本低。使用更稳定，只需定期维护保养，对生产进度影响小。火焰燃烧、高温氧化反应和多重冷却、吸附处理工序，处理效率高，效果好。

主权项：1.一种燃烧水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述设备包括：废气燃烧系统，所述废气燃烧系统用于燃烧废气；内部冷却吸附系统，所述内部冷却吸附系统与废气燃烧系统连接，冷却废气燃烧系统排出的尾气；工艺冷却水系统，所述工艺冷却水系统设置在废气燃烧系统内，通过热量交换实现对废气燃烧系统的冷却；所述废气燃烧系统包括：废气引入模块、外部气体注入模块以及燃烧模块；所述废气引入模块用于引入废气，所述外部气体注入模块用于注入外部气体，为废气燃烧提供燃烧条件；所述燃烧模块通过若干三通阀分别与废气引入模块和外部气体注入模块连接；所述内部冷却吸附系统包括：冷却室19、冷却吸附管路以及冷却水系统，所述冷却水系统与冷却室19和冷却吸附管路连接，冷却水系统中的冷却水循环进入冷却室19和冷却吸附管路之中；所述冷却室19一端与废气燃烧系统连接，另一端与冷却吸附管路连接；所述工艺冷却水系统包括：工艺冷却水循环装置，用于实现工艺冷却水的冷却和循环；工艺冷却水管路，穿过燃烧模块设置，通过工艺冷却水的流动，实现与燃烧模块的热交换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江亚笙半导体设备有限公司 一种燃烧水洗式单腔废气处理设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD