申请/专利权人：北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司

申请日：2022-09-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810655A

主分类号：H01P1/10

分类号：H01P1/10;H01H59/00;H01P1/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本公开提供一种MEMS开关及移相器，属于微机电系统技术领域。本公开的MEMS开关的第一传输线与各第二传输线均间隔设置在衬底基板上，且在第一传输线和各第二传输线之间均设置有驱动电极，且第一绝缘层至少覆盖各驱动电极背离衬底基板的表面；桥面结构设置在第一传输线和第二传输线所在层背离衬底基板的一侧，且桥面结构与第二传输线对应设置；桥面结构具有相对设置的第一端部和第二端部；桥面结构的第一端部与第一传输线电连接，桥面结构的第二端部和与之对应的第二传输线在衬底基板上正投影存在交叠；对于任一桥面结构，在MEMS开关呈开态时，桥面结构上至少部分点的切线与衬底基板所在平面相交。

主权项：1.一种MEMS开关，其包括衬底基板，设置在所述衬底基板上第一传输线、至少一条第二传输线、至少一个驱动电极，第一绝缘层和至少一个桥面结构；其中，所述第一传输线与各所述第二传输线均间隔设置，且在第一传输线和各所述第二传输线之间均设置有所述驱动电极，且所述第一绝缘层至少覆盖各所述驱动电极背离所述衬底基板的表面；所述桥面结构设置在所述第一传输线和所述第二传输线所在层背离所述衬底基板的一侧，且所述桥面结构与所述第二传输线对应设置；所述桥面结构具有相对设置的第一端部和第二端部；所述桥面结构的第一端部与所述第一传输线电连接，所述桥面结构的第二端部和与之对应的所述第二传输线在所述衬底基板上正投影存在交叠；对于任一所述桥面结构，在所述MEMS开关呈开态时，所述桥面结构上至少部分点的切线与所述衬底基板所在平面相交。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 MEMS开关及移相器

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