申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日：2021-02-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN114688972B

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00

优先权：["20201231 CN 2020116396964"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.07.19#实质审查的生效;2022.07.01#公开

摘要：本发明提供一种检测设备及检测方法，其中，所述检测设备包括：发光装置，用于产生照射待测物的入射光，所述入射光用于在所述图案标记表面形成图案光斑，所述待测物表面具有图案标记，所述图案光斑用于与所述图案标记形成莫尔条纹，所述图案光斑包括多个条纹光斑，所述多个条纹光斑的条纹延伸方向不同；成像装置，用于收集所述信号光并根据所述物镜收集的信号光形成检测图像。所述图案光斑包括多个条纹光斑，所述检测设备获取的图案标记的信息较多，进而能够增加检测设备的检测功能，且能够提高检测速度。

主权项：1.一种检测设备，其特征在于，包括：发光装置，用于产生照射待测物的入射光，所述待测物表面具有图案标记，所述入射光用于在所述图案标记表面形成图案光斑，所述图案光斑的多个条纹光斑分别与所述图案标记形成莫尔条纹，所述入射光经所述图案标记衍射后形成信号光，所述信号光携带所述莫尔条纹的信息，所述图案光斑包括多个条纹光斑，所述条纹光斑包括沿同一方向重复排列的多个条纹，所述多个条纹光斑的条纹延伸方向不同；成像装置，用于收集所述信号光并根据所述信号光形成检测图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 检测设备及其检测方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD