申请/专利权人：昂图创新有限公司

申请日：2021-10-21

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN116438445B

主分类号：G01N21/55

分类号：G01N21/55

优先权：["20201202 US 17/110,214"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.08.01#实质审查的生效;2023.07.14#公开

摘要：一种光学计量装置使用具有方位角变化偏振状态和或相位状态的多波长光束称为涡旋光束。该计量装置在大范围的入射角内将涡旋光束聚焦在待测样本上。该计量装置可以检测从样本反射的涡旋光束的图像，并且根据入射角和方位角测量返回光的偏振状态，该偏振状态可以在多个不同波长下进一步测量。涡旋光束包括方位角变化偏振状态，从而使得能够测量所有期望的偏振状态，而不需要使用移动的光学部件。在多个入射角和波长上检测到的偏振状态信息提供了可以用来确定样本的一个或多个特性的精确确定的数据。

主权项：1.一种能够确定样本的特性的光学计量装置，所述光学计量装置包括：偏振状态发生器，所述偏振状态发生器将光束转换成光学涡旋光束；聚焦光学器件，所述聚焦光学器件具有垂直于所述样本表面的光轴，所述聚焦光学器件在对应于初始偏振状态的多个入射角和多个方位角上将所述光学涡旋光束聚焦在所述样本上；检测器，所述检测器在所述聚焦光学器件的光瞳平面的图像中接收来自所述样本的反射的光学涡旋光束，并且基于所述光瞳平面的所述图像中的多个位置来测量来自所述反射的光学涡旋光束的偏振状态，每个位置在半径和方位角中的至少一个方面不同，其中所述半径对应于所述入射角，并且所述方位角对应于来自所述光学涡旋光束的初始偏振状态；和至少一个处理器，所述至少一个处理器从所述检测器接收所述光瞳平面的所述图像，并且至少使用来自所述反射的光学涡旋光束的所述偏振状态来确定所述样本的特性。

全文数据：

权利要求：

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