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申请/专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种分段进气扩散炉，包括炉体，所述炉体的一端为炉口，所述炉口处设有进气管，所述炉体内至少设有一套补气管组件，所述补气管组件包括输气管和分流管，所述分流管通过输气管与外部气源连通，所述分流管沿炉体内壁的周向设置，且分流管朝向炉体内的管壁上设有多个出气孔。本实用新型的分段进气扩散炉，通过在炉体内设置补气管组件，在炉口进气的基础上进行炉内分段补气，大大提高了工艺气体的分散均匀性，由此提高了工艺气体的有效利用率，因此，可以在降低工艺气体总消耗量的同时还能提高所加工太阳能电池片背面的方阻均匀性。
主权项：1.一种分段进气扩散炉，包括炉体1，所述炉体1的一端为炉口11，所述炉口11处设有进气管111，其特征在于：所述炉体1内至少设有一套补气管组件2，所述补气管组件2包括输气管21和分流管22，所述分流管22通过输气管21与外部气源连通，所述分流管22沿炉体1内壁的周向设置，且分流管22朝向炉体1内的管壁上设有多个出气孔221。
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百度查询： 湖南红太阳光电科技有限公司 分段进气扩散炉
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