申请/专利权人：深圳技术大学

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117839783A

主分类号：B01L3/00

分类号：B01L3/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.09#公开

摘要：本发明属于微纳流控芯片技术领域，具体为微纳流控芯片的对准装置及其使用方法，其中装置包括底座，所述底座的上端设置有放置架，放置架上部设置有对准机构，所述对准机构包括移动组件、夹持组件和吸附结构，所述移动组件包括横向驱动机构、竖向驱动机构和纵向驱动机构，所述吸附结构与纵向驱动机构连接，通过横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构的配合带动吸附机构三维移动，所述放置架的一侧设置有控制器，所述底座底部设置有成像组件，所述成像组件包括显微镜和CCD成像模块，所述CCD成像模块与控制器连接，所述控制器与外部的上位机连接。本发明可以自动实现芯片加工过程中的快速对准过程。

主权项：1.微纳流控芯片的对准装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的上端设置有放置架201，放置架201上部设置有对准机构，所述对准机构包括移动组件2、夹持组件3和吸附结构4，所述移动组件2包括横向驱动机构、竖向驱动机构和纵向驱动机构，所述吸附结构4与纵向驱动机构连接，通过横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构的配合带动吸附机构三维移动，所述吸附结构4包括抽气泵401和与抽气泵401连接的吸盘402，所述吸盘402的底部开设有定位槽，所述夹持组件3包括气泵301、出气管302、出气板303、控制阀304、进气管305、活塞伸缩杆306、移动板307，所述移动板307上设置有当移动板307挤压基片时自动转动夹紧基片的限位块314，所述放置架201的一侧设置有控制器5，所述横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构分别与控制器5连接，所述底座1底部设置有成像组件，所述成像组件包括显微镜212和CCD成像模块，所述CCD成像模块与控制器5连接，所述控制器5与外部的上位机连接。

全文数据：

权利要求：

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