申请/专利权人：上海集成电路材料研究院有限公司

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850167A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/027

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种电子束直写器以及电子束直写系统，包括：发射调控单元以及X个电子束源发射单元；X为大于等于1的整数；发射调控单元用于产生Y种选通信号，Y为大于等于2的整数；各电子束源发射单元均包括导通信号产生模块、导通信号保持模块以及电子束生成模块；导通信号产生模块的Y个控制端与Y种选通信号一一对应设置；导通信号产生模块用于同时接收到对应的选通信号时产生导通信号；导通信号保持模块接收选通信号，用于延长导通信号的有效时间；电子束生成模块接收延长有效时间的导通信号，在导通信号的有效时间内发射对应的电子束。本发明用于解决电子束直写过程中由于电子束源响应控制指令存在反应时间而导致直写速度慢等问题。

主权项：1.一种电子束直写器，其特征在于，所述电子束直写器包括：发射调控单元以及X个电子束源发射单元；X为大于等于1的整数；所述发射调控单元用于产生Y种选通信号，Y为大于等于2的整数；各电子束源发射单元分别连接所述发射调控单元；其中，各电子束源发射单元中任一电子束源发射单元在同时接收到Y种选通信号时导通，进而发射对应的电子束；其中，各电子束源发射单元均包括导通信号产生模块、导通信号保持模块以及电子束生成模块；所述导通信号产生模块的Y个控制端与Y种选通信号一一对应设置；所述导通信号产生模块用于同时接收到对应的选通信号时产生导通信号；所述导通信号保持模块接收所述导通信号，用于延长所述导通信号的有效时间；所述电子束生成模块接收延长有效时间的所述导通信号，在所述导通信号的有效时间内发射对应的电子束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海集成电路材料研究院有限公司 电子束直写器以及电子束直写系统

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