申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850120A

主分类号：G02F1/29

分类号：G02F1/29;G02F1/295;G02B6/124

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明属于硅基光电子芯片技术领域，具体涉及一种二维硅基光学相控阵。本发明具体结构包括依次连接的边缘耦合器、多模干涉耦合器树、由n个电光移相器单元构成的移相器阵列，以及由n个高效的光栅天线进行稀疏非周期布局的发射阵列，每个模块通过硅波导进行连接。本发明提出的二维硅基光学相控阵保证紧凑且小的占地面积的同时提高了光栅天线的向上衍射效率，并且采用紧凑的光栅天线阵列布局，提高了光学相控阵的视场大小，减小了旁瓣水平。

主权项：1.一种二维硅基光学相控阵，其特征在于，包括依次连接的边缘耦合器1、多模干涉耦合器树2、移相器阵列3和光栅天线发射阵列4；所述多模干涉耦合器树2由n-1个多模干涉耦合器组成，其中与边缘耦合器1连接的第一个多模干涉耦合器为根节点，第一个多模干涉耦合器的输出分别连接两个多模干涉耦合器作为子节点，依次类推构成树结构，作为多模干涉耦合器树2的叶子节点的多模干涉耦合器分别与构成移相器阵列3的n个电光移相器单元连接；n个电光移相器单元分别与构成光栅天线发射阵列4的n个光栅天线连接；所述光栅天线包括输入直波导401、锥型波导402、直立光栅齿403、反L型光栅齿404和高对比度光栅齿405，其中输入直波导401与锥型波导402的尖端连接；所述直立光栅齿403和反L型光栅齿404均为多段并且两者交替排列，直立光栅齿403的数量为m，反L型光栅齿404的数量为m+1，其中第一段反L型光栅齿与锥型波导402的平面端连接；所述高对比度光栅齿405数量为i，分布在反L型光栅齿的上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 一种二维硅基光学相控阵

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