申请/专利权人：福建钰融科技有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117839482A

主分类号：B01F27/90

分类号：B01F27/90;B01F35/11;B01F35/213;B01D53/26

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及蚀刻液生产技术领域，提供一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，包括：原料输送装置包括原料罐、输送泵、输料管、竖直管和第一电控阀门；原料输送装置有多个；水洗装置包括水源供给组件、输水管、排水管、第二电控阀门、第三电控阀门和电导率仪；惰性气体烘干装置包括惰性气体供给组件、加热器、输气管、排气管、第四电控阀门和第五电控阀门。本发明的优点在于：在一膜层的蚀刻液生产完成后，先用水清洗搅拌混合釜，水从排水管流到电导率仪，电导率仪检测水的电导率以确认水的纯度，再输入加热后的惰性气体，烘干搅拌混合釜，惰性气体从排气管向外排出，高效率地清洗搅拌混合釜，搅拌混合釜在清洗干净后投入到下一膜层的蚀刻液生产。

主权项：1.一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，包括：原料输送装置、搅拌混合釜、水洗装置和惰性气体烘干装置；所述原料输送装置包括原料罐、输送泵、输料管、竖直管和第一电控阀门，所述原料罐的底部出口与所述输料管的入口连接，所述输料管的出口与所述输送泵的入口连接，所述输送泵的出口与所述竖直管的下端入口连接，所述竖直管的上端出口与所述搅拌混合釜的顶部入口连接，所述第一电控阀门安装在所述原料罐的底部出口；所述原料输送装置有多个；所述水洗装置包括水源供给组件、输水管、排水管、第二电控阀门、第三电控阀门和电导率仪，所述水源供给组件的出口与所述输水管的入口连接，所述输水管的出口与所述搅拌混合釜的顶部入口连接，所述第二电控阀门安装在所述输水管，所述搅拌混合釜的底部出口与所述排水管的入口连接，所述第三电控阀门、电导率仪都安装在所述排水管；所述惰性气体烘干装置包括惰性气体供给组件、加热器、输气管、排气管、第四电控阀门和第五电控阀门，所述惰性气体供给组件的出口与所述加热器的入口连接，所述加热器的出口与所述输气管的入口连接，所述输气管的出口与所述搅拌混合釜的顶部入口连接，所述搅拌混合釜的顶部出口与所述排气管的入口连接，所述第四电控阀门安装在所述输气管，所述第五电控阀门安装在所述排气管。

全文数据：

权利要求：

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