申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117840157A

主分类号：B08B11/00

分类号：B08B11/00;B08B11/02;B08B7/00;B08B13/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种扫描电镜光阑与样品的清洗工装、装置及方法，涉及扫描电子显微镜技术领域。清洗工装包括清洗腔体，清洗腔体设有清洗腔室及与所述清洗腔室分别连通的第一接口、第二接口和第三接口；所述第一接口，用于供待清洗物体插入；所述第二接口，用于连接等离子体清洗仪；所述第三接口，用于连接真空泵组。本发明提供了一种清洗工装、清洗装置及清洗方法，可以用于清洗扫描电镜光阑和样品等物体，能够在不拆下光阑片的情况下，直接对光阑进行清洗，解决了高温清洗和研磨清洗导致光阑局部变形的问题，有效减少了对扫描电镜的成像质量产生影响。

主权项：1.一种清洗工装，其特征在于，所述清洗工装包括：清洗腔体，设有清洗腔室及与所述清洗腔室分别连通的第一接口、第二接口和第三接口；所述第一接口，用于供待清洗物体插入；所述第二接口，用于连接等离子体清洗仪；所述第三接口，用于连接真空泵组。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种扫描电镜光阑与样品的清洗工装、装置及方法

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