申请/专利权人：华中科技大学;觉芯电子(无锡)有限公司

申请日：2024-01-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117840017A

主分类号：B06B1/06

分类号：B06B1/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明属于超声换能器技术领域。公开一种大带宽的阵列式超声换能器装置，包括：衬底；PMUT单元阵列，具有至少两个PMUT单元，多个PMUT单元围绕一轴心布置在衬底上以形成阵列，相邻两PMUT单元中心点间距被配置为第一间距以增强互阻抗，以及，多个背腔，开设在衬底远离PMUT单元一侧，每一背腔内具有一PMUT单元，多个所述背腔被配置为第一长度以增强阻抗。本发明能够实现在衬底上设置多个呈阵列布置的PMUT单元，使得PMUT单元之间通过声学路径相互作用产生互阻抗，互阻抗可以提供额外的声学阻尼，使得PMUT单元之间的互阻尼值增大，进而显著地增大带宽。

主权项：1.一种大带宽的阵列式超声换能器装置，其特征在于：包括：衬底；PMUT单元阵列，具有至少两个PMUT单元，多个所述PMUT单元围绕一轴心布置在所述衬底上以形成阵列，相邻两所述PMUT单元中心点间距被配置为第一间距以增强互阻抗，以及，多个背腔，开设在所述衬底远离所述PMUT单元一侧，每一所述背腔内具有一所述PMUT单元，多个所述背腔被配置为第一长度以增强阻抗。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华中科技大学;觉芯电子(无锡)有限公司 一种大带宽的阵列式超声换能器装置

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