申请/专利权人：大连奥首科技有限公司

申请日：2023-02-14

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN116042099B

主分类号：C09G1/02

分类号：C09G1/02;H01L21/306

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2023.05.19#实质审查的生效;2023.05.02#公开

摘要：本发明提供一种高润湿、高分散、高悬浮、易清洗的研磨助剂、制备方法、用途及包含其的研磨液。本发明研磨助剂采用分散剂‑防沉剂‑电荷斥力剂‑润湿剂‑消泡剂‑两亲性溶剂复配，并与软硬磨料混合得到研磨液。本发明研磨助剂具有极高的表面动态润湿、渗透能力，不易产生泡沫，能快速在砷化镓表面铺展，并且能快速渗透到砷化镓表面的微裂缝中，形成劈裂效果，提升研磨效率；同时对磨料具有良好的分散和防沉作用，避免研磨过程中不同微粉和磨屑的团聚，能使不同种类磨料在研磨液中分布均匀，长久保持悬浮状态，研磨时砷化镓受力均匀，研磨速率快，研磨后表面粗糙度低，TTV低，平整度好且无明显划痕，易清洗，表面无杂质残留。

主权项：1.一种高润湿、高分散、高悬浮、易清洗的研磨助剂，其特征在于，包括重量配比如下的各组分：分散剂1-5份；防沉剂0.1-5份；电荷斥力剂1-5份；润湿剂1-5份；消泡剂0.1-1份；两亲性溶剂40-60份；所述分散剂为马来酸-丙烯酸共聚物、马来酸-烯烃共聚物、聚乙烯吡咯烷酮-乙烯咪唑共聚物中的一种或几种；所述防沉剂为羟乙基纤维素、碱溶胀型聚氨酯、碱溶性丙烯酸聚合物和聚乙烯醇中的一种或几种；所述电荷斥力剂为二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙基五胺、DL-氨基丙二醇、氨基戊醇、N-3-氨基丙基二乙醇胺、二环己胺、异丙醇胺和二甘醇胺中一种或几种；所述润湿剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪醇乙氧基化合物TERIC168、烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或几种；所述两亲性溶剂为乙二醇单丁醚、丙二醇丁醚、三乙二醇丁醚、乙二醇己醚、丙二醇甲醚、乙二醇叔丁醚、乙氧基丙酸乙酯、二乙二醇叔丁醚醋酸酯和丙二醇苯醚中的一种或几种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连奥首科技有限公司 一种高润湿、高分散、高悬浮、易清洗的研磨助剂、制备方法、用途及包含其的研磨液

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD