申请/专利权人：天津中环领先材料技术有限公司

申请日：2018-12-20

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN109545724B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2019.04.23#实质审查的生效;2019.03.29#公开

摘要：本发明提供了一种硅片清洗水中插篮设备，包括水槽、移动吸取装置、硅片移动装置和喷嘴，移动吸取装置分别固定安装在水槽的两侧，硅片移动装置可夹持住硅片且往复移动的设置在水槽内，喷嘴位于硅片移动装置下，移动吸取装置包括xyz模组和真空吸盘，真空吸盘设置在xyz模组上且在xyz模组的带动下沿xyz方向移动，真空吸盘将硅片移动装置上清洗好的硅片取下。本发明硅片清洗水中插篮设备可以实现真空吸盘移动装置向水槽两端收集箱进行水中插篮，有效地避免了人为插篮效率低下、出错率高、易于划伤硅片等弊端,提高自动化程度，缩短工作时间，解决人工成本。

主权项：1.一种硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：包括水槽1、移动吸取装置、硅片移动装置和喷嘴2，移动吸取装置分别固定安装在水槽1的两侧，硅片移动装置可夹持住硅片且往复移动的设置在水槽1内，喷嘴2位于硅片移动装置下，移动吸取装置包括xyz模组3和真空吸盘4，真空吸盘4设置在xyz模组3上且在xyz模组3的带动下沿xyz方向移动，真空吸盘4将硅片移动装置上清洗好的硅片15取下；硅片移动装置包括传动装置和片篮支架，片篮支架包括支撑板5和移动支架，支撑板5位于移动支架中间且支撑板5的下端固定设置在水槽1内，移动支架通过连接轴6与支撑板5连接，传动装置与移动支架连接，传动装置带动移动支架沿着连接轴6移动，支撑板5一侧设置有滚轮7，可配合移动支架夹紧硅片15；水槽1内且位于片篮支架的两端均设置有收集箱14。

全文数据：一种硅片清洗水中插篮设备技术领域本发明属于清洗设备技术领域，尤其是涉及一种硅片清洗水中插篮设备。背景技术在半导体硅单晶制造领域中,硅片手动插篮，会直接影响产品质量。人为水中插篮会导致划伤硅片，甚至会误操作。利用硅片水中自动插篮设备，可以减少人为划伤硅片和误操作，提高自动化程度。由此可见，该水中插篮设备可实现转运硅片的时效性和准确性，同时减少人工成本，节约人力，提高车间的生产效率。发明内容有鉴于此，本发明旨在提出一种硅片清洗水中插篮设备，硅片清洗水中插篮设备可以实现真空吸盘移动装置向水槽两端收集箱进行水中插篮，有效地避免了人为插篮效率低下、出错率高、易于划伤硅片等弊端,提高自动化程度，缩短工作时间，解决人工成本。为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：一种硅片清洗水中插篮设备，包括水槽、移动吸取装置、硅片移动装置和喷嘴，移动吸取装置分别固定安装在水槽的两侧，硅片移动装置可夹持住硅片且往复移动的设置在水槽内，喷嘴位于硅片移动装置下，移动吸取装置包括xyz模组和真空吸盘，真空吸盘设置在xyz模组上且在xyz模组的带动下沿xyz方向移动，真空吸盘将硅片移动装置上清洗好的硅片取下。进一步的，硅片移动装置包括传动装置和片篮支架，片篮支架包括支撑板和移动支架，支撑板位于移动支架中间且支撑板的下端固定设置在水槽内，移动支架通过连接轴与支撑板连接，传动装置与移动支架连接，传动装置带动移动支架沿着连接轴移动，支撑板一侧设置有滚轮，可配合移动支架夹紧硅片。进一步的，移动支架包括左连接板和右连接板，两者之间固定设置有导向杆，支撑板上设置有供导向杆穿过的孔，连接轴穿出左连接板和右连接板的两端与轴承支座固定连接。进一步的，滚轮通过安装杆固定，且滚轮的转动方向为竖直方向。进一步的，滚轮与左连接板或右连接板之间夹持硅片，喷嘴设置在靠近滚轮的一侧的第一片硅片与第二片硅片接触面的下方。喷嘴喷水用于分片，防止真空吸盘一次取两片。进一步的，传动装置包括电机、水平传送带和连接块，电机带动水平传送带转动，连接块固定设置在水平传送带上，连接块与左连接板或右连接板固定连接，水平传送带进而带动移动支架沿着连接轴移动。进一步的，水槽内且位于片篮支架的两端均设置有收集箱。进一步的，滚轮至少为2个。工作原理：将硅片放置于滚轮和右连接板之间，实现硅片上料。驱动两组真空吸盘动作，一个真空吸盘吸取硅片是采用两个滚轮转动和喷嘴喷水把硅片分离，另一组真空吸盘将吸取的硅片已经放置于收集箱中，两组真空吸盘交错运动一取一放，提高水中插篮效率。真空吸盘吸取硅片分离，移动支架同时动作，电机驱动水平传送带移动，连接块跟随移动，移动支架移动，间接带动硅片移动，使硅片顶在两个滚轮上，硅片吸取位置始终保持不变，利用另一个真空吸盘二次吸取硅片，循环动作。xyz模组可以实现真空吸盘可以沿着3个方向移动。真空吸盘：北京锐洁机器人科技有限公司，SC-IW-240。相对于现有技术，本发明所述的硅片清洗水中插篮设备具有以下优势：本发明所述的硅片清洗水中插篮设备，通过滚轮和右连接板将硅片夹住进行清洗，待清洗后通过真空吸盘取下，有效地避免了人为插篮效率低下、出错率高、易于划伤硅片等弊端，提高自动化程度，缩短工作时间，解决人工成本。附图说明构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：图1为本发明实施例所述的硅片清洗水中插篮设备的整体结构示意图；图2为本发明实施例所述的硅片移动装置的结构示意图；图3为本发明实施例所述的片篮支架的结构示意图；图4为本发明实施例所述的移动吸取装置的结构示意图。附图标记说明：1-水槽；2-喷嘴；3-xyz模组；4-真空吸盘；5-支撑板；6-连接轴；7-滚轮；8-左连接板；9-右连接板；10-导向杆；11-轴承支座；12-电机；13-水平传送带；14-收集箱；15-硅片。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。如图1-4所示，一种硅片清洗水中插篮设备，包括水槽1、移动吸取装置、硅片移动装置和喷嘴2，移动吸取装置分别固定安装在水槽1的两侧，硅片移动装置可夹持住硅片且往复移动的设置在水槽1内，喷嘴2位于硅片移动装置下，移动吸取装置包括xyz模组3和真空吸盘4，真空吸盘4设置在xyz模组3上且在xyz模组3的带动下沿xyz方向移动，真空吸盘4将硅片移动装置上清洗好的硅片15取下。上述硅片移动装置包括传动装置和片篮支架，片篮支架包括支撑板5和移动支架，支撑板5位于移动支架中间且支撑板5的下端固定设置在水槽1内，移动支架通过连接轴6与支撑板5连接，传动装置与移动支架连接，传动装置带动移动支架沿着连接轴6移动，支撑板5一侧设置有滚轮7，可配合移动支架夹紧硅片15。上述移动支架包括左连接板8和右连接板9，两者之间固定设置有导向杆10，支撑板5上设置有供导向杆10穿过的孔，连接轴6穿出左连接板8和右连接板9的两端与轴承支座11固定连接。上述滚轮7通过安装杆固定，且滚轮7的转动方向为竖直方向。上述滚轮7与左连接板8或右连接板9之间夹持硅片，喷嘴2设置在靠近滚轮7的一侧的第一片硅片15与第二片硅片15接触面的下方。喷嘴2喷水用于分片，防止真空吸盘4一次取两片。其中与滚轮7配合夹持硅片15的左连接板8或右连接板9为片状结构，与滚轮7相对且能够实现硅片15的夹紧。上述传动装置包括电机12、水平传送带13和连接块，电机12带动水平传送带13转动，连接块固定设置在水平传送带13上，连接块与左连接板8或右连接板9固定连接，水平传送带13进而带动移动支架沿着连接轴6移动。上述水槽1内且位于片篮支架的两端均设置有收集箱14。上述滚轮7至少为2个。工作原理：将硅片15放置于滚轮7和右连接板9之间，实现硅片15上料。驱动两组真空吸盘4动作，一个真空吸盘4吸取硅片15是采用两个滚轮7转动和喷嘴2喷水把硅片15分离，另一组真空吸盘4将吸取的硅片15已经放置于收集箱14中，两组真空吸盘4交错运动一取一放，提高水中插篮效率。真空吸盘4吸取硅片15分离，移动支架同时动作，电机12驱动水平传送带13移动，连接块跟随移动，移动支架移动，间接带动硅片15移动，使硅片15顶在两个滚轮7上，硅片15吸取位置始终保持不变，利用另一个真空吸盘4二次吸取硅片15，循环动作。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：包括水槽1、移动吸取装置、硅片移动装置和喷嘴2，移动吸取装置分别固定安装在水槽1的两侧，硅片移动装置可夹持住硅片且往复移动的设置在水槽1内，喷嘴2位于硅片移动装置下，移动吸取装置包括xyz模组3和真空吸盘4，真空吸盘4设置在xyz模组3上且在xyz模组3的带动下沿xyz方向移动，真空吸盘4将硅片移动装置上清洗好的硅片15取下。2.根据权利要求1所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：硅片移动装置包括传动装置和片篮支架，片篮支架包括支撑板5和移动支架，支撑板5位于移动支架中间且支撑板5的下端固定设置在水槽1内，移动支架通过连接轴6与支撑板5连接，传动装置与移动支架连接，传动装置带动移动支架沿着连接轴6移动，支撑板5一侧设置有滚轮7，可配合移动支架夹紧硅片15。3.根据权利要求2所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：移动支架包括左连接板8和右连接板9，两者之间固定设置有导向杆10，支撑板5上设置有供导向杆10穿过的孔，连接轴6穿出左连接板8和右连接板9的两端与轴承支座11固定连接。4.根据权利要求2所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：滚轮7通过安装杆固定，且滚轮7的转动方向为竖直方向。5.根据权利要求3所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：滚轮7与左连接板8或右连接板9之间夹持硅片，喷嘴2设置在靠近滚轮7的一侧的第一片硅片15与第二片硅片15接触面的下方。6.根据权利要求3所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：传动装置包括电机12、水平传送带13和连接块，电机12带动水平传送带13转动，连接块固定设置在水平传送带13上，连接块与左连接板8或右连接板9固定连接，水平传送带13进而带动移动支架沿着连接轴6移动。7.根据权利要求1所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：水槽1内且位于片篮支架的两端均设置有收集箱14。8.根据权利要求4所述的硅片清洗水中插篮设备，其特征在于：滚轮7至少为2个。

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