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【发明公布】一种双氧水中痕量金属离子的去除方法_湖北兴福电子材料股份有限公司_202311673228.2 

申请/专利权人:湖北兴福电子材料股份有限公司

申请日:2023-12-07

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117819485A

主分类号:C01B15/013

分类号:C01B15/013

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:一种双氧水中痕量金属离子的去除方法,该方法以预电子级双氧水为原料,首先将阳离子交换树脂清洗干净,并使用盐酸对其进行预处理,然后将阴离子交换树脂清洗干净与预处理后的阳离子交换树脂以特定比例混合制成混合离子交换树脂,并使用超纯水清洗树脂;预先将含有痕量金属离子杂质的双氧水原料通过冷却装置进行降温处理;将降温处理后的双氧水原料使用蠕动泵通过一组或多组的混合离子交换树脂柱。本发明主要采用对树脂预处理、调整阴、阳离子交换树脂比例来提高离子交换率,提高离子交换树脂对双氧水中痕量金属离子和阴离子的去除效果,最终制得阴离子≤2ppb,单项金属离子≤10ppt的超高纯电子级双氧水。

主权项:1.一种双氧水中痕量金属离子的去除方法,其特征在于:包括以下步骤:1阳离子交换树脂预处理:使用超纯水对阳离子交换树脂进行清洗直至洗出液电导率小于等于超纯水电导率,然后加入盐酸溶液,超声,用超纯水清洗树脂至清洗液为中性;2阴离子交换树脂的清洗:使用超纯水对阴离子交换树脂进行清洗直至洗出液电导率小于等于超纯水电导率;3将步骤1和2中的预处理后的阴阳离子交换树脂混合后制成混合离子交换树脂,然后装入离子交换树脂柱内;4使用超纯水对步骤3中的混合离子交换树脂柱进行反洗,直至洗出液电导率小于等于超纯水电导率为止;5预先将含有痕量金属离子的双氧水原料降温处理;6将经步骤5处理后的双氧水原料通过混合离子交换树脂柱,得到单项金属离子≤10ppt的电子级双氧水。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种双氧水中痕量金属离子的去除方法

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