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【发明公布】一种工件表面类金刚石涂层的可控褪镀方法_广州今泰科技股份有限公司_202311854569.X 

申请/专利权人:广州今泰科技股份有限公司

申请日:2023-12-29

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117821989A

主分类号:C23G5/00

分类号:C23G5/00;C23G1/19;C23G1/14;C23G1/20;C23F3/04;C23F3/00;C23C14/02;C23F17/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本发明公开了一种工件表面类金刚石涂层的可控褪镀方法,针对表面具有类金刚石涂层的工件处理,步骤包括:采用氧等离子体轰击预处理后的工件表面,完全剥离工件表层的碳物质,并将气相沉积的过渡层部分或全部转变为金属碳氧化物的复合物;然后将氧等离子体轰击后的工件先后在碱性浸泡液A和碱性浸泡液B中浸泡,完全剥离工件表面残留的金属碳氧化物的复合物,并对暴露的金属物质实施化学抛光。本发明不损伤水镀金属层,褪镀质量容易控制,利于工业化生产。

主权项:1.一种工件表面类金刚石涂层的可控褪镀方法,其特征在于,针对表面具有类金刚石涂层的工件处理,步骤包括:采用氧等离子体轰击预处理后的工件表面,完全剥离工件表层的碳物质,并将气相沉积的过渡层部分或全部转变为金属碳氧化物的复合物;然后将氧等离子体轰击后的工件先后在碱性浸泡液A和碱性浸泡液B中浸泡,完全剥离工件表面残留的金属碳氧化物的复合物,并对暴露的金属物质实施化学抛光。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广州今泰科技股份有限公司 一种工件表面类金刚石涂层的可控褪镀方法

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