申请/专利权人：三星电子株式会社

申请日：2023-06-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870550A

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：["20221011 KR 10-2022-0129791"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：提供了一种被配置为检测衬底的高度水平的水平传感器、以及包括该水平传感器的衬底处理装置。该水平传感器包括：测量光源，被配置为朝向衬底照射测量光；棱镜，被配置为将测量光的反射光分成第一偏振光和第二偏振光，并在第一偏振光和第二偏振光之间产生第一光程差；光程调制器，被配置为保持第一偏振光的光程恒定，并周期性地改变第二偏振光的光程；以及检测器，被配置为基于第一偏振光和第二偏振光之间的干涉信号来检测第一光程差。

主权项：1.一种水平传感器，被配置为检测衬底的高度水平，所述水平传感器包括：测量光源，被配置为朝向所述衬底照射测量光；棱镜，被配置为将由所述衬底反射的所述测量光的反射光分成第一偏振光和第二偏振光，并在所述第一偏振光和所述第二偏振光之间产生第一光程差；光程调制器，被配置为保持所述第一偏振光的光程恒定，并周期性地改变所述第二偏振光的光程；以及检测器，被配置为接收从所述光程调制器输出的所述第一偏振光和所述第二偏振光，并基于由所述第一偏振光和所述第二偏振光之间的干涉产生的干涉信号来检测所述第一光程差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电子株式会社 水平传感器

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