申请/专利权人：富芯微电子有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117457549B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要：本发明公开了一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备，包括腐蚀装置和输送架:腐蚀装置的底座的顶部上设置有支架，底座内升降设置有腐蚀液框，输送架贯穿支架，输送架上等间距设置有管芯安装盘，管芯安装盘通过夹具安装有多个管芯本体；还包括清洗烘干件，清洗烘干件位于支架的底部，清洗烘干件的清洗管位于支架底部，清洗管和电加热板之间通过连接板连接，连接板与第三气缸的输出端连接，第三气缸安装在支架上，本发明实现对管芯本体进行自动化工作，且循环有序的进行生产，从而大大提高了对管芯本体进行表面腐蚀的整体效率；对腐蚀后的管芯，实现了冲洗与干燥一体化处理。

主权项：1.一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备，其特征在于，包括腐蚀装置（1）和输送架（2）:腐蚀装置（1）的底座（10）的顶部上设置有支架（9），底座（10）内升降设置有腐蚀液框（21），输送架（2）贯穿支架（9），输送架（2）上等间距设置有管芯安装盘（3），管芯安装盘（3）通过夹具（16）安装有多个管芯本体（17）；还包括清洗烘干件（18），清洗烘干件（18）位于支架（9）的底部，清洗烘干件（18）的清洗管（25）位于支架（9）底部，清洗管（25）和电加热板（29）之间通过连接板（31）连接，连接板（31）与第三气缸（32）的输出端连接，第三气缸（32）安装在支架（9）上；清洗管（25）的一侧均匀设置有多个喷孔，清洗管（25）的另一侧与进水管（26）连通，电加热板（29）的侧壁上通过隔热板安装有风机（30）；管芯安装盘（3）内设置有旋转机构，旋转机构的主动齿轮（6）和从动齿轮（7）均通过连接轴（8）转动安装在管芯安装盘（3）的内腔中，主动齿轮（6）与从动齿轮（7）啮合连接，连接轴（8）的底端设置有用于固定管芯本体（17）的夹具（16）；主动齿轮（6）位于管芯安装盘（3）的中部，且只设置有一个，从动齿轮（7）以主动齿轮（6）为中心环形设置有多个；主动齿轮（6）的连接轴（8）的顶部与支架（9）上的驱动机构配套连接；驱动机构包括安装架（11）、第一气缸（12）、驱动电机（13）、安装板（14）、驱动头（15），安装架（11）安装在支架9的顶面上，且安装架（11）的顶面上设置有第一气缸（12），第一气缸（12）的输出端与驱动电机（13）连接，驱动电机（13）的输出端与驱动头（15）连接，主动齿轮（6）的连接轴（8）的顶部设置有连接头（4），连接头（4）上设置有与驱动头（15）相适配的连接槽（5）；第一气缸（12）控制驱动电机（13）向下移动，使得驱动电机（13）的驱动头（15）插入到连接头（4）上的连接槽（5）内，从而实现其对管芯安装盘（3）进行控制；控制腐蚀液框（21）的升降工作采用第二气缸（20）的输出方式，通过控制第二气缸（20）带动腐蚀液框（21）升降工作，完成对管芯本体（17）的浸泡腐蚀的工作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富芯微电子有限公司 一种用于晶闸管管芯生产的表面腐蚀设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD