申请/专利权人：株式会社钟化

申请日：2019-07-12

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112514034B

主分类号：H01L21/304

分类号：H01L21/304;B08B3/12;H01L21/306;H01L21/673

优先权：["20180802 JP 2018-145632"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.04.02#实质审查的生效;2021.03.16#公开

摘要：本发明提供盒以及清洗浴槽套件。在保持有至少一个半导体基板57的状态下被浸渍于清洗浴槽21内的处理液的盒51由筒状体52构成，并且具备向筒状体52的外侧露出的外周面52a、和将至少一个半导体基板57保持于筒状体52的内周面的保持部保持用突起部52e、基板支承部52f。在筒状体52的与筒轴方向正交的截面中，外周面52a的周向的一部分为曲线，余部为直线。

主权项：1.一种盒，为了使至少一个半导体基板浸渍于清洗浴槽内的处理液并进行超声波处理，在所述盒保持有所述至少一个半导体基板的状态下被浸渍于所述处理液，其中，所述盒由筒状体构成，并以所述筒状体的筒轴方向成为上下方向的方式被浸渍于所述处理液，并且具备向所述筒状体的外侧露出的外周面、和将所述至少一个半导体基板保持于所述筒状体的内周面的保持部，在所述筒状体的与筒轴方向正交的截面中，所述外周面的周向的一部分为曲线，余下部分为直线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社钟化 盒以及清洗浴槽套件

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