申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2020-06-05

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114008535B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/66

优先权：["20190704 EP 19184423.2","20190717 EP 19186833.0"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.02.22#实质审查的生效;2022.02.01#公开

摘要：一种确定过程特征对图案化衬底的过程的性能的贡献的方法。所述方法可包括获得关于第一过程数据和第一性能数据训练的第一模型。当将所述第一模型应用于与一个或更多个衬底相关联的过程数据时，可基于所述第一模型的预测的品质来识别一个或更多个衬底。可关于与所识别的一个或更多个衬底相关联的第二过程数据和第二性能数据来训练第二模型。可使用所述第二模型来确定所述第二过程数据的过程特征对与所述一个或更多个衬底相关联的第二性能数据的贡献。

主权项：1.一种确定过程特征对图案化衬底的过程的性能的贡献的方法，所述方法包括：获得关于第一过程数据和第一性能数据训练的第一模型；当将所述第一模型应用于与一个或更多个衬底相关联的过程数据时，基于所述第一模型的预测的品质来识别所述一个或更多个衬底；关于与所识别的一个或更多个衬底相关联的第二过程数据和第二性能数据来训练第二模型；并且使用所述第二模型来确定所述第二过程数据的过程特征对与所述一个或更多个衬底相关联的第二性能数据的贡献。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 用于确定特征对性能的贡献的方法和设备

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