申请/专利权人:浙江百盛光电股份有限公司
申请日:2023-09-11
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN220773414U
主分类号:G03F1/82
分类号:G03F1/82
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权
摘要:本实用新型公开了一种掩膜板清洗升降式防护装置,包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组,所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶,所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心;所述的升降模组设于防护罩组件的外周,驱动升降桶的升降。本实用新型设计了一种掩膜板清洗升降式防护装置,可以在清洗过程中起到防护作用,避免清洗过程中强酸强碱液体发生飞溅。
主权项:1.一种掩膜板清洗升降式防护装置,其特征在于包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组,所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶,所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心;所述的升降模组设于防护罩组件的外周,驱动升降桶的升降。
全文数据:
权利要求:
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