申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日：2024-02-29

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117891062A

主分类号：G02B26/08

分类号：G02B26/08;G02B3/00;G02B1/00;G02B6/35

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种MEMS光开关及光交叉连接器，该MEMS光开关包括框架和位于框架内的超构表面透镜，超构表面透镜用于调节相位；超构表面透镜通过若干组相对设置的连接结构与框架相连；其中，超构表面透镜包括基底和阵列分布于基底上的亚波长结构单元，亚波长结构单元包括多个高度相同、尺寸不同的微纳米柱，超构表面透镜用于对入射至其上的入射光束进行准直和偏转以透射至目标端口。本发明能够利用超构表面透镜同时实现光路的准直和偏转功能，便于调控，减少光开关器件所需元件，减小整体器件的体积。

主权项：1.一种MEMS光开关，其特征在于，所述MEMS光开关包括框架和位于框架内的超构表面透镜，所述超构表面透镜用于调节相位；所述超构表面透镜通过若干组相对设置的连接结构与框架相连；其中，所述超构表面透镜包括基底和阵列分布于所述基底上的亚波长结构单元，所述亚波长结构单元包括多个高度相同、尺寸不同的微纳米柱，所述超构表面透镜用于对入射至其上的入射光束进行准直和偏转以透射至目标端口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 MEMS光开关及光交叉连接器

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