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申请/专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司;天津锐洁芯导机器人有限公司
申请日：2024-03-18
公开（公告）日：2024-04-16
公开（公告）号：CN117894727A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;B25J9/00;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开
摘要：本发明提供了一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法，其中晶圆传输机械手包括机械手本体、ARM横梁、上手臂和下手臂，机械手本体包括本体底座、Z轴中段和Z轴上段，Z轴上段与Z轴中段之间可伸缩连接，Z轴中段与本体底座之间可伸缩连接；Z轴上段与ARM横梁固定连接；ARM横梁的两端分别与两个连接段的端首部对应垂直连接，上手臂的端首部和下手臂的端首部分别与两个连接段的端尾部对应转动安装，上手臂位于下手臂的上方；上手臂的端尾部可转动的安装有上末端执行器，下手臂的端尾部可转动的安装有下末端执行器。本发明能够解决现有双臂晶圆传输机械手结构复杂，Z轴行程受本体尺寸限制的问题。
主权项：1.一种晶圆传输机械手，其特征在于，包括机械手本体、ARM横梁、上手臂和下手臂，所述机械手本体包括本体底座、Z轴中段和Z轴上段，所述Z轴上段与所述Z轴中段之间可伸缩连接，所述Z轴中段与所述本体底座之间可伸缩连接；所述Z轴上段的顶部与所述ARM横梁的中心处固定连接，所述机械手本体能够驱动所述ARM横梁进行升降并绕所述Z轴上段的轴线旋转；所述ARM横梁的两端分别与两个连接段的端首部对应垂直连接，所述上手臂的端首部和所述下手臂的端首部分别与两个所述连接段的端尾部对应转动安装，且所述上手臂位于所述下手臂的上方；所述上手臂的端尾部可转动的安装有上末端执行器，所述下手臂的端尾部可转动的安装有下末端执行器；所述ARM横梁的中心与所述连接段的端尾部中心之间的间距为L1，所述连接段的端首部中心和端尾部中心之间的间距为L2，所述连接段的端首部中心与所述ARM横梁的中心之间的间距为L3，L1、L2与L3之间构成直角三角形；所述上手臂的端首部中心和端尾部中心之间的间距等于L1，所述下手臂的端首部中心和端尾部中心之间的间距等于L1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京锐洁机器人科技有限公司;天津锐洁芯导机器人有限公司 一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法
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